半导体与电子
生产集成电路芯片需要高度专业化的设备,可在多重苛刻环境下工作,如:
○ 真空环境下的等离子
○ 高温
○ 与高度研磨液接触
○ 暴露于多种高腐蚀性化学品
与石英和陶瓷等传统材料相比,跨骏工程塑料制品公司(Quadrant EPP)已研发出多种材料,既满足了晶圆低污染加工的最严格要求,又是低成本的解决方案。跨骏工程塑料制品公司的材料被设计用于整个晶圆加工制程。
您的优势
○ 准确复制全球任何地区可用的材料
○ 广泛的材料选择、工程支持和测试能力
○ 机加工能力,支持仿真系统NPI应用发展
○ 材料组合最为广泛,专设计用于湿制程工具
○ CMP环材料的全球一流制造商,包括Techtron® PPS(全球标准CMP应用)
○ 用于刻蚀、CVD和离子植入等干式制程工具的材料,可降低成本和提高性能
产品与应用
产品 | 应用 |
Techtron® PPS | CMP环 |
Semitron® CMP XL20 | 刻蚀和CVD反应腔 |
Ketron® 1000 PEEK |
晶圆传送
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Ertalyte® PET-P | 湿制程构造 |
Duratron® PAI |
湿制程部件
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HP化学品和水储存容器内衬
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