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半导体于电子

半导体与电子

 

生产集成电路芯片需要高度专业化的设备,可在多重苛刻环境下工作,如:        

○ 真空环境下的等离子

○ 高温

○ 与高度研磨液接触

○ 暴露于多种高腐蚀性化学品

  与石英和陶瓷等传统材料相比,跨骏工程塑料制品公司(Quadrant EPP)已研发出多种材料,既满足了晶圆低污染加工的最严格要求,又是低成本的解决方案。跨骏工程塑料制品公司的材料被设计用于整个晶圆加工制程。

 

您的优势

 

○ 准确复制全球任何地区可用的材料

○ 广泛的材料选择、工程支持和测试能力

○ 机加工能力,支持仿真系统NPI应用发展

○ 材料组合最为广泛,专设计用于湿制程工具

○ CMP环材料的全球一流制造商,包括Techtron® PPS(全球标准CMP应用)

○ 用于刻蚀、CVD和离子植入等干式制程工具的材料,可降低成本和提高性能

 

产品与应用

 

产品 应用
Techtron® PPS CMP环
Semitron® CMP XL20 刻蚀和CVD反应腔
Ketron® 1000 PEEK
晶圆传送
Ertalyte® PET-P 湿制程构造
Duratron® PAI
湿制程部件   
 
HP化学品和水储存容器内衬 
 

应用行业